F2；各个冷却水管的水流量显示。 F3；各个冷却水管的水流量显示。 F4；各个冷却水管的水流量显示。 F5；各个冷却水管的水流量显示。 F6；各个冷却水管的水流量显示。 各气动阀门绿色表示开启状态。 4.2 模式界面
模式界面是本设备进行观察处理问题的界面，它包括整个炉子的核心操作体系，在屏幕的最上方有系统运行真实值消息，通过真实值我们可以清楚的了解到炉子T1温度、T2温度、高真空曲线、低真空曲线等，了解设备的运行情况。
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当前曲线
按“T1温度曲线”即显示T1温度当前曲线 按“T1温度曲线”即显示T1温度当前曲线 按“低真空曲线”即显示当前低真空曲线 按“高真空曲线”即显示当前高真空曲线 当前配方名称
该设备可预设多份配方进行储存，点击“加载配方”即可选定当前所要运行的配方。 跳转配方
阶段显示：显示当前的阶段步号 步号显示：显示当前的步号
跳步序号设定：在自动运行过程中要实现跳步，必须先点击“程序暂停”按钮，使程序处于暂停模式，再在“跳步设定序号”栏输入所需步号对应的序号，再按“跳步运行开始”，设备即开始进入自动运行状态。 注意：操作人员必须知道操作后的后果，方可操作。
当前步延时：在设备在自动运行过程中，所处的运行阶段结束时，会发出黄色报警，提醒当前步是否要延时。“当前步延时”按钮是在配方运行阶段，时间不够用时的延时功能，例如：熔化阶段，硅料没有完全熔化需要加时间，可以使用该按钮延长该步的时间。
操作时只要输入想要延时的时间，按“延时运行开始”即可。 如不需要延时，按“进入下一步”，设备即按原程序进入下一步的运行。
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自动运行
按“自动运行”按钮设备即进入预设程序的自动运行启动。 程序暂停
按“程序暂停”按钮，设备运行处于暂停状态，设备的各系统运行保持在当前状态。 程序退出运行
按“程序退出运行”，设备处在退出自动运行状态，设备的各系统运行保持在当前状态，可实现完全的手动操作。 加热控制模式
点击暂停按钮，使程序处于暂停模式下，点击“加热模式”按钮，控制模式即由温度控制模式转换为功率控制模式，在点击“加热模式”按钮，控制模式即由功率控制模式返回为温度控制模式 进入/退出急冷程序。
点击暂停按钮，在模式界面中点击进入急冷，确认即可。进入急冷后，点击结束急冷，确认后，即可结束紧急冷却程序。 加热设定
PID调节：调节P、I、D三个加热温度控制参数，使升温速率更接近预设的工艺曲线。 SV温度：设定温度
PID-SV温度：设定温度的当前值 T1PV温度：当前的实际温度 功率限制
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设备在自动运行或手动运行时的最大功率显示，需要限制是只要点击佰分比对话框输入控制值按确定即可。 手动功率
设备在手动运行状态所需要的加热功率，只要点击佰分比对话框输入控制值按确定即可。 实际功率
设备当前输出的实际功率显示。 4.3 配方界面 配方界面的操作介绍
配方界面显示了各个阶段控制的方式，当工艺需要改进时，我们可以通过更改配方以达到改进工艺的要求。在整个配方界面，参数可以人为设臵，以达到进一步完善生产工艺的要求。
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“从文件加载”按钮，程序运行前，点击从文件加载按钮，可加载需要的配方。
“保存到文件”按钮，配方修改后，点击该按钮可保存修改后的配方。 “从PLC读取”按钮，如需要加载配方，也可点击该按钮，则加载的配方为保存在PLC中的配方。
“写入PLC”按钮，修改后的配方，点击写入PLC，则PLC中保存的是你修改后的配方。
在设备自动运行过程中，如出现异常的情况需要修改配方，按“编辑本阶段配方”可以进入修改当前配方，在已运行的当前步不能再作修改，但当前步以下的配方部分可以进行修改，修改完毕后按“F7-存盘”即可运行所修改的配方。
阶段：阶段号在同一个阶段编号是相同的。
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