阶段步号:每阶段设有多少步,每步步号由小到大自上而下排列。阶段步号结束时进入下一阶段时应空格,空格内横向全部填写为零。 序号:序号填写自上而下,数字由小到大排列。 压力模式:真空状态填0,充气状态填1.
进气设定:即质量流量计的流量设定。单位:升/分钟 压力设定:炉内的压力设定。单位:mbar 加热模式:功率模式为1,温度模式为0. 隔热门位臵和坩埚位臵:单位为mm *表示运行到该步。 4.4 手动界面
在自动运行的过程中,如出现一些紧急的意外,可直接切换到手动页面操作,但操作人员必须完全明白手动操作的后果,否则将产生严重的不良
21
后果。为此进入手动界面时需要输入密码,才能进入。
手动界面是炉子在没有进入自动运行阶段时的各气路以及各阀门和真空泵组的操作界面,在这个界面我们可以手动测试每个阀门的好坏,以及泵组的正常运行情况。
大流量充气:此按钮是当每次运行完之后,程序会自动打开大口径氩气充气阀向腔室里面充气,当充气达到990时会关闭该阀门停止充气,此时就可以打开下腔室了。在手动状态下也可实现手动充气,达到内外气压平衡,打开炉门。
22
抽真空与捡漏
点击“自动检漏开始”执行按钮,即可按照设定的抽真空步骤一步步自动执行程序,如果想要停止抽真空,点击关闭按钮即可。
检漏过程是先将设备的腔体抽到极限真空,即真空空度达到0.0067mbar时开始检漏。当300S后,真空度不超过0.015时,判定检漏合格,反之不合格。
升降系统运行图:
点击改按钮,可以进入隔热层运动屏幕
23
位臵测量值:当前的隔热层位臵实际值。 位臵设定值:想要设定的隔热层的目标值。 速度测量值:电机此时的运转速度。
高速度设定值:想要的设定的隔热层的运行速度。
低速设定值:隔热层要到目标值后会减速,低速即为减速后的慢速度。 加速时间设定:从高速到低速的转化时间。 检测零点:点击该按钮可以将隔热层降到零限位。
注意:当手动升降隔热层时,设定位臵目标值与速度必须合理,隔热层
24
才能运动,例如当你设定的目标位臵很小,而速度很大时,隔热层是不能够运行的。 下腔室升降屏幕
高速设定值:下腔室的运行速度。 低速设定值:下腔室减速后的速度。
加速时间:下腔室升降过程中,从高速度到低速(或从低速到高速)的转换时间。
25