温度控制屏幕
PID参数调节：调节P、I、D三个加热温度控制参数，使升温速率更接近预设的工艺曲线，减少波动。 SV温度：设定目标温度 PID-SV温度：设定温度的当前值 T1PV温度：当前的实际温度 功率限制：输出最大功率限制
手动功率：手动加热时所需要的输出功率 实际功率：显示当前的输出功率
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加热控制方式：加热控制可以手动切换功率控制或温度控制。
加热启动/停止：按钮指单独手动进行温度控制时进行操作控制的按钮。 4.5 曲线界面
曲线界面是整个炉子运行时的曲线观察界面，通过观察曲线的变化我们能直观系统的了解设备的运行情况，曲线界面包括腔室压力，隔热门位臵、输出功率、T1温度、T2温度、坩埚曲线等。通过这些曲线的变化情况，进行设备的处理和记录和分析。
数据库里只保存一个月的曲线，超过一个月，程序将自动删除一个月前的曲线。
4.6 报警界面
设备在运行情况下，会遇到一些正常和非正常的报警，这些报警都能
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够在报警界面体现出来，相对应的报警按钮会变红，我们遇到报警首先应先消除报警声音，防止急促的报警影响操作人员处理问题。如果复位不成功，应进行紧急处理。问题严重的可进入急停程序确保设备及人身安全。
4.7 退出按钮
退出按钮是当操作人员想重启本程序时之用。
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5 设备的操作
5.1 概述
WZL-460型多晶硅提纯铸锭炉除手动装料和摆放坩埚外，基本实现全
自动运行，设备的运行过程如下：手动装料入炉→设备安全检查和性能检查→设备检漏→自动运行阶段确认→出炉 。从检漏开始是工作在全自动模式下的。操作人员只需负责一些长晶，熔化等报警的确认，检查参数和工艺要求是否正确，观察机组、阀门、供水、供气等辅助的 是否符合要求即可。 5.2 装料
装料是在无尘的车间内，操作人员小心的把纯净的硅料装在喷有氮化硅涂层得坩埚内，一般坩埚的四周和底部要用碎料或者表面光滑的片料，来保护石英坩埚表面的涂层，装料应遵循大块料中间碎料片料四边和底面。然后用手慢慢铺平或者摆好，以防止涂层被破坏。如下图所示 。
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碎料铺底
硅片贴边，以免坩埚涂层被损坏
大料之间留有空隙，四个角留有一定的空隙,防止受热后膨胀挤坏坩埚，且大料和小料搭配开来装。
装料完毕后，将装好料的坩埚再装上石墨护板，是坩埚处在石墨护板的中间，是四周留有一定的间隙。
将触摸屏计算机切换到手动界面，按“升降机构运行”，在按炉盖降，此时计算机会提示注意打开下腔室的4个夹子。
如图：
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