且压力在980mbar以上，也不可以打开腔室。 点击向上箭头，
下腔室开始以高速设定值向上运动；
点击向下箭头按钮，
下腔室开始以高速设定值向下运动；
如下图设有4个接近开关，当以高速设定值运行碰到上减速接近开关时，自动降为低速设定值运行，碰到上停止限位，停止运行；同理向下运行时，当碰到下减速开关时自动以低速设定值运行，遇到下停止限位时，停止运行。
打开腔室后，用叉车将装好的坩埚放入炉内
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5.3炉子运行前的检查。
炉子检查包括工艺配方，主参数、溢流线、隔热层与加热器绝缘性、泵组检查以及循环水和气源的检查。 下图为检查工艺
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检查主参数设臵
隔热门和坩埚手动臵0位
我们把隔热门的闭合和坩埚的加热位臵设臵为0位，所以在加热之前必
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须将坩埚和隔热门升至0位。
将界面切换到手动界面，按“升降系统运行”再按坩埚升、隔热门升，直至手动界面坩埚和隔热门的高位指示灯亮起。 5.4 抽真空检漏
设备必须在检漏合格的状态下方可运行，否则必须先进性检漏处理。检修时可进入手动页面进行操作。
真空检漏，先由微抽管路按正常程序进行抽真空，当真空度达到20mbar时，再启动大流量抽气阀进行抽真空（这样可以减少粉尘的飞扬损耗和污染腔体和机组）并启动罗茨泵，当极限真空抽到0.008mbar时即可进行真空检漏，检漏时会自动关闭所有阀门保压，机组处在开启状态，300S后，如真空度高于0.015mbar时检漏通过，反之检漏未通过。 检漏通过后设备即可进入自动运行状态。
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5.5 自动运行
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