半导体工厂施工组织设计

2019-03-22 19:06

第19章 半导体工厂施工组织设计

19.1 工程概况

19.1.1 工程简介

本项目工程名称为××半导体有限公司第2.5代TFT生产线新建工程。其中主厂房为三层结构,中间区域为生产用洁净厂房,两侧为辅助区域,结构形式为框架结构。其他厂房还包括造排水栋、动力栋和其他辅助建筑。

本项目工期要求为××年×月×日具备工艺设备搬入条件。工作量大,工期紧张且工作强度相对较大,项目材料和设备要求较高,对项目承包商的能力和施工策划提出较高的要求。

xx半导体有限公司是香港xx国际控股有限公司的全资子公司,成立于19xx年,在中国广东省注册,注册资金为xxxx万美元。公司总部设在香港,生产基地位于中国广东省xx市。在国内有70%的产品销售权。是一家知名的电子产品、半导体产品开发、生产和销售的香港上市公司。

TFT面板项目由xx半导体有限公司投资,投资总额约x亿美金。建厂费用占总投资额的14.5%,约人民币x.x亿元。本项目产品为第2.5代TFT-LCD面板,由阵列和成盒两道工序组成,基板玻璃尺寸为550毫米×650毫米,月投片量为xxK,主要产品为手机使用的彩色TFT显示屏。

本项目位于广东省xx市xx工业园区内,北临xx路,南靠工业大道,用地面积为14万多m 。本项目主要由生产主厂房、动力站、纯水站、大宗气体站、废水站、特殊药品仓库等组成。其中主厂房洁净面积共一万两千平方米,洁净级别主要为十级、百级和千级。 19.1.2产品的工作原理及工艺流程: (1)产品工作原理

液晶显示屏是透过硅玻璃上的电路形成电场,来驱动玻璃与滤光片间的液晶分子,在自然状态下呈并列平行排列,当电路对液晶层施加电场,液晶分子会朝不同的方向偏转,这时液晶类似于开关作用可以让光线通过,令液晶层形成不同的透光效果,从而达到显示不同画面的目的。 (2)工艺流程:

阵列工艺流程:玻璃基板投入→基板清洗→栅极金属溅射→栅极光刻→n+α-硅/α-硅/氮化硅层淀积→α-硅光刻→ITO膜溅射→ITO膜光刻→源/漏级金属溅射→源/漏级金属光刻→n+α-硅反刻→氮化硅淀积→绝缘层刻蚀→退火→检查

成盒工艺流程:投入阵列和滤光玻璃基板→配向膜印刷→框胶图敷、垫料→滴入液晶→真空贴合→盒分割→贴偏光片→检查 19.1.3工程特点及主要工程量:

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(1)工程特点:该工程机电系统复杂,净化厂房面积为1万二千平方米,净化级别分别为十级、百级和千级,动力系统包括大宗气体、特种气体、工艺冷却水、工艺真空、化学品等项目,生产厂房主体为框架结构,屋顶采用大跨度钢屋架结构。主体结构二层,一层为设备工艺系统、一般排风和酸碱排风等,专业复杂,施工难度大。下夹层,主要由生产车间工艺下夹层和辅助用房组成,二层为工作层,主要由生产车间、办公室等管理用房组成。工程对抗微震的要求很高。

(2)该工程的主要工程量:本项目的主要建筑由生产主厂房、动力站房、纯水站房、废水处理厂房、开关站及气体库房等组成。工程占地面积约14万多平方米,总建筑面积约为5万多平方米。 (3)本工程土建部分包括:结构、建筑和钢结构部分组成。

(4)机电部分包括:洁净室内装、洁净室空调系统、工艺排风系统、冷冻水系统、热水锅炉系统、工艺冷却水系统、纯水系统、废水系统、压缩空气系统、氮气系统、氧气系统、特气系统、消防喷淋和消火栓系统、低压变配电站、工艺设备配电、照明、弱电自控、火灾报警系统等。 (5)洁净室内装工程包括:

? 厂房火灾危险性为丙类,防火等级为2级,抗振烈度为7级。 ? 生产厂房内隔墙: (彩色金属夹心板)17000平米; ? 生产厂房吊顶: (彩色金属夹心板)12000平米; ? 环氧地面:14000平米;

? 架空活动防静电地板:12000平米;

? 架空地板用工字钢(规格***×**×*×**t):42000米; ? 各种风淋室:15个; (6)电气工程包括:

? 各种电压等级变压器: 9台(25000KVA,其中UPS:5000KVA); ? 各种配电柜: 156台; ? 各类灯具:7300套; ? 各种电气桥架:15000米; ? 各种电线、电缆:共543000米; (7)机械工程包括:

? 厂房内的新风设计总风量为150000CHM,由四台(三用一备)新风机组集中供给; ? 自循环风机(DCFU):108台; ? 高效过滤风机单元(FFU):3020台;

? 一般排气系统设计排风量60000CHM,由四台(三用一备)离心式排风机;

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? 燃油蒸汽锅炉:3台; ? 水源热泵:2台; ? 离心式冷冻机:4台;

? 各种水泵:65台(不含纯水、排风、废水、药液等非我公司范围); ? 各种管道:187600米; ? 镀锌铁皮:4800平米; (8)钢结构工程及土建工程: ? 钢屋面总计:3921T; ? 混凝土:10255立米; ? 钢筋:2103T 19.1.4建设要求:

本项目采用总承包的模式,就是通常所说的交钥匙承包方式。业主将本项目的设计、采购、施工、测试、设施以及向业主移交的整个过程委托施工总承包方来完成,其中纯水站、废水站、特气系统、化学品供应系统由业主指定分包商完成。由于本项目采用了总承包模式,充分体现了以下几方面的优势:

(1)业主转移和降低了自身的风险:包括设计风险、采购风险、施工风险和设计、分包商、供应商等配合问题造成的费用、工期增加的风险。

(2) 由于采用了总承包模式,设计、采购、施工相互搭接,本项目进度缩短了30%。 (3)不需要业主的团队拥有很多的人手来参与总承包方的团队配合。 (4)有利于协调,有利于完工后的运行维护。 (5)可以充分保证项目功能目标的统一性。 (6)有利于造价控制。

本项目业主从2004年下半年开始筹备 ,2005年启动,2005年x月初某电子工程建设公司(简称我方)开始介入,业主委托该公司(我方)总承包本项目,2006年初破土动工,2007年x月初开始工艺设备搬入,工程建设周期为14个月。

19.2 施工组织设计

19.2.1施工组织设计编制依据 (1)承包合同、图纸和补充说明

? 本项目施工组织设计部分是依据我方和本项目的业主方(××半导体有限公司)签署的关于本

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项目的总承包框架合同及其补充附件编制的; ? 我方提供的本项目的经业主审核认可的设计图纸; (2)国家现行有关规范 ? 建筑及结构工程

《建筑装饰装修工程质量验收规范》(GB50210-2001) 《建筑工程施工质量验收统一标准》(GB50300-2001) 《建筑地面工程施工质量验收规范》(GB50209-2002) 《钢结构工程施工质量验收规范》(GB50205-2001) ? 通风空调工程

《通风与空调工程施工质量验收规范》GB 50243-2002 《工业设备及管道绝热工程施工及验收规范》GBJ126-89 ? 给水排水及工业管道工程

《给水排水管道工程施工及验收规范》GB50268-97 《建筑给排水及采暖工程施工质量验收规范》GB50242-2002 《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》GB50236-98 《工业金属管道安装工程施工及验收规范》GB50235-97 《建筑安装工程质量检验评定标准容器工程》TJ306-77 《自动喷水灭火系统施工及验收规范》GB50261-2005 ? 电力及照明工程

《施工现场临时用电安全技术规范》JGJ46-2005 《建筑电气工程施工质量验收规范》 GB 50303-2002 《电气装置安装工程母线装置施工及验收规范》GBJ149-90 《电气装置安装工程电缆线路施工及验收规范》GB50168-2006 《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB50169-2006

《电气装置安装工程盘、柜及二次回路接线施工及验收规范》GB50171-92 《电气装置安装工程低压电器施工及验收规范》GB-50254-96 《电气装置安装工程电气照明装置施工及验收规范》GB50259-96 ? 弱电工程

《自动化仪表安装工程质量检验评定标准》GBJ131-90 《工业自动化仪表工程施工及验收规范》GBT50093-2002

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《保安电视监控工程技术规范》GT/76-94 《火灾自动报警系统施工及验收规范》GB50166-2007 ? 设备安装及起重工程

《制冷设备、空气分离设备安装工程施工及验收规范》GB50274-98 《机械设备安装工程施工及验收通用规范》GB50231-98

《建筑安装工程质量检验评定标准通用机械设备安装工程》TJ305-75 《压缩机、风机、泵安装工程施工质量验收规范》GB50275-98 ? 通用及其他相关

《洁净厂房设计规范》(GB50073-2001) 《钢结构工程施工质量验收规范》GB50205-2001 《建筑钢结构焊接技术规程》JGJ81-2002

《钢结构高强螺栓连接的设计、施工及验收规程》JGJ82-91 《涂装前钢材表面锈蚀等级和除锈等级》GB8923-1997 注:以上规范包括但不仅限于这些。 19.2.2编制原则和适用范围 (1) 编制原则

? 严格执行国家、相关行业和广东省有关技术规范、操作规程和相关质量检验评定标准; ? 认真执行国家、广东省和业主的有关法令、法规、政策和管理办法;

? 确保项目质量:实行全面质量管理,实行项目法施工管理,采取技术、质量承包责任制,确保

工程质量达到本标书制定的质量目标;

? 保证项目工期:从优化施工方案入手,利用先进的施工设备,精干的施工队伍,精心组织、科

学施工,确保按时完工;

? 确保安全施工:推行安全目标责任制,制定安全保证措施,杜绝安全事故的发生,达到本施工

组织设计制定的安全目标;

? 合理降低项目造价:实施科学管理,进行有效的优化和深化设计,确保有效降低造价 的实现; ? 突出重点,明确方向,重点把握影响工期或重、难点单体工程的施工进度,确保工期、质量及

安全目标的真正落实;

? 保证重点、统筹安排,科学合理的安排施工计划和项目实施部署,组织连续、均衡、紧凑的施

工生产,按照施工计划完成施工任务;确保施工质量和施工安全;加强经济核算制度,贯彻增产节约方针;

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