式中 L1，L2，?，Ln：房间各送风口的风量，m3/h； A: 房间面积，m；H: 房间高度，m。 可接受标准： ①总风量接受标准：
洁净室 C级 系统实测风量 在设计风量的 100%～120%之间 总实测新风量 在设计新风量的 90%～110%之间 在设计新风量的 90%～110%之间 2
第 21 页 共 69 页 各风口的风量 在各自设计风量的85%～115%之间 A级 ②换气次数接受标准： C：≥25次/ h。
检查及评价结果：见OQ附表4《洁净室风量及换气次数测试记录》。 5.3.1.5、房间静压差测定
目的：在风量测定之后，查明洁净室和邻室之间是否保持必须的正压或负压，从而知道空气的流向。确认与设计的压差梯度是否一致。根据车间风速风量测定和压差调节确定正常条件下空调风机运行频率。根据测定结果调整空调系统，使各房间静压差符合设计标准要求。 程序：
A、测试仪器：微压计。
B、测试条件要求：测定前应将所有的门都关闭，并开启房间中的排风机，在最大排风量条件下进行；测试时所有的空调系统和层流系统应处于连续的运行状态，不允许有人穿越房间；为避免压力出现不必要的变化，测试状态应固定，并应从平面上最里面的房间依次向外测定。
C、测量方法：按仪器使用说明书执行。将U型管或微压表安装在墙壁上，可随时观察压力变化情况，并读数记录。
可接受标准：相邻不同级别空间的静压差绝对值应≥10Pa(1mmH20)；洁净级别要求高的区域对相邻的洁净级别要求低的区域呈相对正压；洁净室与室外的压差应≥10Pa(1mmH20) ；压差梯度原设计方案一致。称量室、产尘间与相邻房间保持相对负压。
检查及评价结果：见OQ附表5《洁净区相对压差测试记录》 5.3.1.6、房间温度与湿度测定
目的：是确认HVAC系统具有将洁净厂房温度、相对湿度控制在设计要求范围内的能力。温、湿度测定应在风量风压调整后进行。
程序：
A、测试仪器：微环境监测仪
第 22 页 共 69 页 B、测点分布：温度、相对湿度的测点应放在工作区或洁净室的相对远点，所有测点宜在同一高度，离地面0.8m。
C、测试方法：按《洁净室施工及验收规范》进行测定。测试应空气平衡结束后进行。在温、湿度计在测试前应经校正合格。测试前，空调系统连续运行1小时以上。测量和记录温度、湿度应按不同的房间、测点不同的要求进行。
监测记录频率：确认时，每个房间的每个测量点，4次/小时。 测点数的确定： 波动范围 ±0．5～±2℃ ±5～±10%RH 室面积≤30m2 1 每增加20～40m2 增加1 可接受标准：空调系统在规定的运行期间，在全年温度变化的情况下，应能够将洁净厂房温度维持在18～26.C、相对湿度控制在45～65％，或根据产品需要指定的温度范围。
在洁净厂房温度和相对湿度的监测过程中，若发现结果超出规定的范围，应及时检查原因，必要时对空调系统进行调整。
洁净厂房温湿度的检测以及根据检测结果对空调系统进行的调整应记录归档。 检查及评价结果：见OQ附表6《洁净室温度、相对湿度检测记录》。 5.3.1.7、自净时间测试
目的：确认系统在受到来自内部的污染后恢复标准要求的洁净度的能力。从而判断洁净室的动态性能。
程序：
A、测试仪器：Y09-310激光尘埃粒子计数器 B、测试方法：
以生产结束时的动态空间含尘浓度作为基准，在工作区平面的中心点测定含尘浓度（N0），立即开机运行并计时，定时（如每1分钟）读数，直至浓度达到静态浓度要求时（N）为止，以这一段时间为实测自净时间。
可接受标准：不超过设计自净时间2分钟（参考值为不大于20分钟）。选换气次数、风速、风量相对较差的房间和关键控制的进行自净确认 。
检查及评价结果：见OQ附表7《洁净室自净时间测试记录》。 5.3.1.8、洁净环境臭氧消毒浓度检测
目的：确认开启臭氧发生器一段时间后洁净区臭氧浓度能够达到10ppm，并且各洁净间臭氧浓度分布均匀。
程序：
A、测试器材：真空式手动采样器。
B、测试原理：检测管测试采用化学比色原理，直读分析数据。 C、臭氧浓度测试方法：
a、割断检测管的两端封口，将检测管插在采样器的进气口上，将采样器手柄拉至第二档
第 23 页 共 69 页 位采样100ml，待检测管中指示剂变色终止，即可从白色柱所致刻度，读出臭氧体积浓度(ppm)数据。
b、臭氧检测浓度单位mg/m3与ppm的关系及换算公式
质量浓度（mg/m3）=臭氧分子量（M）/22.4(标准状态下气体的摩尔体积B)×体积浓度(ppm) ×（273/(273+T)）×Ba/101325）
c、每一测试点应同时测试两个平行样；从臭氧发生器开启60min后依次测试。 d、测试时检测人员应戴防毒口罩，防止臭氧中毒。
D、测试地点：选取关键房间（灌封间、稀配间等）进行测试。
检查及评价结果：见OQ附表8《臭氧浓度检测记录》。
5.3.1.9、空调机组故障报警系统、温湿度超标控制系统、中效压差超标报警系统、洗灌封洁净区压差超标报警系统、A级区悬浮粒子、风速在线监测及超标报警系统的运行确认
目的:确定空调净化系统安装的在线监测及报警系统能够正常工作，空调净化系统具备在故障及超标情况发生时报警功能和空调温湿度自动控制功能。
程序：在线模拟空调故障（空调运行中突然打开中效过滤器检修门形成压差故障）、模拟中效过滤器压差超标（调低中效过滤器压差报警值，小于中效压力示值的2倍）、模拟洗灌封洁净区压差超标、A级区悬浮粒子、风速超标情形（将空调系统送风量调到最低，打开在线监测系统），查看相应报警系统是否发生报警响应，空调温湿度自动控制功能是否启动。
可接受标准：空调机组故障发生时，空调机组报警系统响应，同时空调机组排风、新风阀关闭；空调机组温度超标时，空调制冷系统开启，达到要求温度时，制冷系统关闭；湿度超标时空调加湿或除湿系统开启，达到要求湿度时，系统关闭；中效过滤器压力超标时，中效压力报警器响应；A级区悬浮粒子、风速超标时，相应报警系统响应。
检查及评价结果：见0Q附表9《空调机组在线监测报警系统运行确认记录》。 5.3.2、运行确认结论：
评价人： 日期： 5.4、性能确认（OQ）
第 24 页 共 69 页 目的：对洁净室综合性能的监测，对空气净化系统是否能达到规定的洁净度做出判断，确认HVAC系统能够连续、稳定地使洁净区的洁净度符合设计标准及生产工艺的要求。性能确认在动态或模拟全负荷运转的情况下进行。
性能确认周期：HVAC系统连续运行的3个星期，分为3个周期，每个周期7天。连续监测三个周期，所有房间测定完毕为一个周期。
若在连续运行的3个周期中，悬浮粒子数、空气中微生物数(沉降菌、浮游菌)静态各测试一次，动态每个周期各测试一次共三次，各次测试结果均符合设计要求及相应级别洁净区标准规定的要求，可判定系统通过性能确认。温湿度控制的性能确认结果应以全年为一个周期，只有经历了季节变化，才能全面评价HVAC系统对洁净区内温度与相对湿度的控制能力。 5.4.1、性能确认内容
通过关键部件（参数）失效模式风险评估确定需在性能确认（PQ）中确认的项目如下：洁净区悬浮粒子的测定、微生物（沉降菌、浮游菌）的检测和A级区悬浮粒子、风速在线检测性能确认。
洁净室中的悬浮粒子及微生物数的预测定是为最终的环境评价作准备，以便在测定时发现问题及时解决；为空气平衡及房间消毒方法的进一步改进提供依据，悬浮粒子的测定应在空调调试及空气平衡完成后进行。微生物的测定应在悬浮粒子测定结束，房间消毒后进行。 5.4.1.1、悬浮粒子的测定
悬浮粒子洁净度监测的采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置，在确认时采用静态和动态方式测试。
目的：通过悬浮粒子的测定，判断洁净室的洁净度是否达到要求。 程序：
A、测试仪器：Y09-310激光尘埃粒子计数器
注意：仪器开机预热至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正，采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数，采样管必须干净，严禁渗漏。采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外，长度不得大于1.5m，计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差，温度和湿度 洁净室（洁净区）的温度、相对湿度、压差应符合规定。
B、采样点数目及其布置：
悬浮粒子洁净度监测的采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。一般对于高效过滤器装在末端（天花板）的空气净化系统及层流罩，只需在工作区（离地0.7～
第 25 页 共 69 页 1m处）设置测点即可，除在工作区设置测点外，还需在每个送风口处(离开风口约0.3m)设置一个测点。采样点均匀分布于整个洁净区（室）内，并应位于工作面高度（一般距地面0.8m）与设计或工艺特指的位置。
静态检测最少采样点数目按表1进行，动态监测时，Ａ级区设置连续动态监测系统，取样点为3个；C级区采用移动式检测装置，取样点按照表1进行。
悬浮粒子洁净度测定最少采样点数目（ NL）表1
面积（m2） <10 ≥10～<20 ≥20～<40 ≥40～<100 ≥100～<200 ≥200～<400 洁 净 级 别 Ａ级 2-3 4 8 16 40 80 B级 2-3 4 8 16 40 80 C级 2 2 2 4 10 20 D级 2 2 2 2 3 6 采样点的限定：对于任何洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次，每个采样点的采样次数可以多于1次，且不同采样点的采样次数可以不同（注：表中的面积，对于单向流洁净室，指的是送风面积；对于非单向流洁净室，指的是房间面积。）
C、采样量
静态：Ａ级区、A级送风区静态检测取样量均不少于1m3；B级区静态检测取样量均不少于689.6L， C级区静态检测取样量均不少于8.5L；D级区静态检测取样量均不少于8.5L。
动态：Ａ级区、A级送风区动态检测取样量均不少于28.3L；B级区动态检测取样量均不少于8.5L；C级区动态检测取样量均不少于2.83L；D级区动态检测取样量均不少于2.83L。
D、测试方法：按《洁净区悬浮粒子检测标准操作规程》进行。 E、结果计算：
悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤统计计算： 采样点的平均粒子浓度： A=
C1+C2??+Ci