图19：正确的积分增益设置
下图为增益设定过高，有略微过冲。
图20：增益设定过高，有略微过冲
3.3.5 平行度
调整平行度增益可以调整Y1 和Y2 的同步精度，如果该参数设得过高，滑块将会摆动，从分析曲线上看有抖动。通常情况下，同步差值为0.01-0.03mm。
3.3.6 跟随误差限制
当工进阶段调试结束后，再采样一次分析曲线，测量跟随误差，确定跟随误差的最大值，将参数“跟随误差限制”（tracking error limitation）设成实际跟随误差的最大值再加0.1mm。
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图21：确定跟随误差的最大值F
例: 最大跟随误差 0.17mm
加 0.1mm: 0.17 + 0.1 = 0.27mm
设定参数“跟随误差限制”为 0.3mm
3.4 卸压 (状态 5)
准备: ? 将参数“卸压后延时”取较大的值，如：1000ms
? 将手动页面的卸压距离取一个较大值，如2mm
图22：卸压阶段参数
3.4.1 比例增益（P）调整
增加比例增益直至抖动，该值并非为临界值，尽量避免抖动。
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图23：正确设定卸压增益
图24：卸压增益过高，产生抖动
3.4.2 制动前馈和速度前馈
由于前馈制动值和前馈速度增益，在卸荷过程中，跟随误差将被简化。
滑块正常移动过程中，这些参数值赋缺省值即可。简略跟随误差将缩短工作周期。 要正确调整这些参数，必须在工作压力下才能进行，所以必须在有材料板时才能做。
3.4.3 卸荷后延时
测量从压力关闭到滑块动作停止的时间，然后将此值输入到此参数“卸荷后延时”。
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Figure 2:测量卸荷后延时
如果在压力关闭时，滑块有一短的“跳跃”，调整“压力延时”（pressure delay）参数来避免此现象。
3.5 回程 (状态 6)
在调整前先正确设定“回程前延时”参数，其值为回程命令有效到充液阀打开的时间。 将参数“跟随误差限制”设成比较大的值，例： 25.0 mm
图26：回程参数
3.5.1 回程压力调整
调整回程压力，使回程速度达到设定值。另一方面，压力不要求设得太高，否则可能导致运行不稳定，比如：在回程开始的瞬间。
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图27：过高的压力导致回程开始不稳定
3.5.2 比例（P）增益调整
增大比例增益直到开始抖动。该值并不是临界值，应避免抖动发生。还可以通过分析曲线检查阀偏差来检查抖动。
图3: 正确的比例增益（P）调整
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