Abbreviation Full Name 中 文 說 明
HVAC
CUP Central Utility Plant 中央動力廠房
GEX General EXhaust 普通及熱排氣
SEX Scrubber EXhaust 酸排氣
VEX Volatile orgaic compound EXhaust 有機溶劑排氣
AEX Ammonia EXhaust 鹼性排氣
PCW Plant Cooling Water 工藝冷卻水
PV Process Vacuum 工藝真空
HV House Vacuum 真空吸塵
CW City Water 自來水
FMCS Faility Monitoring Contro System 廠務監控系統
MCC Motor Control Center 馬達控制中心
VFD Variable Frequency Device 變頻器
CCTV Close Circuit Televsion 閉路電視
PA Public Adress system 廣播系統
FA Fire Alarm system 火災報警系統
UPW Ultra Pure Water 超純水
FWW Fluoride Waste Water 低濃度氫氟酸廢水
IWW Industry Waste Water 工業廢水
OWW Organic Waste Water 有機溶劑廢水
DAHW Drain Amonia Hydride Waste 含氨廢水
RCL Recycle water 製程回收循環水
RCM Reclaim water 製程回收再利用水
HFW High Fluoride Waste water 高濃度氫氟酸廢水
BGW Backgriding Waste water 晶背研磨廢水
SAW Sulfuric Acid Waste water 硫酸廢液
PAW Phosphoric Acid Waste water 磷酸廢液
SW Stripper Waste water 剝離液廢液
TW Thinner Waste water 清洗廢液
PIX Pix waste water PIX廢液
SLOW Oxide slurry waste water 介電質研磨廢水
SLWP Metal slurry waste water 金屬研磨廢水
SLWP Poly slurry waste water 多晶硅研磨廢水
PN2 Process N2 製程用氮氣
GN2 General N2 一般用氮氣
CDA Compressor Dry Air 壓縮乾燥空氣
VMB Valve Manifold Box 閥箱
空調系統
AHU Air Handling Unit 空调箱
MAU Make-up Air Unit 外气空调箱
VAV Variable Air Volume box 可变风量风箱
FFU Fan Filter Unit 风车过滤器
HEPA High Efficiency Particulate Filter 高效率过滤器
ULPA Ultra Low Penetration Filter 超高效率过滤器
A/S Air Shower 空气浴尘室
CUP Central Utility Plant 中央動力廠房
電力系統
FMCS Faility Monitoring Control System 廠務監控系統
MCC Motor Control Center 馬達控制中心
VFD Variable Frequency Device 變頻器
CCTV Close Circuit Televsion 閉路電視
SCADA Supervisory Control And Data Acquisition 监视控制和数据搜集系统
MCC Motor Control Center 馬達控制中心
VFD Variable Frequency Device 變頻器
水處理系統
UPW Ultra Pure Water 超純水
RO Reverse Osmosis 逆滲透膜
TOC Total Organic Carbon 總有機碳
MB Mixed Bed 混床
UF UltraFiltration 超濾 SC Strong Cation 強陽離子
SA Strong Anion 強陰離子
WA Weak Anion 弱陰離子
DO Dissolved Oxygen 溶解氧
MD Membrane Degasify 脫氣膜
GF Gravity Filter 重力式過濾器.
DI Deionize 去離子水 氣體/化學系統
CQC Continuous Quality Control连续品质控制系统
VMB Valve Manifold Box 閥箱
VMP Valve Manifold Panel 閥盘
GMS Gas Monitoring System 气体监测系统
CDS Chemical Dispense System 化學系统
SDS Slurry Dispense System 化學研磨系统
环境安全卫生
ESH Environment Safety Health 环境安全卫生
SCBA Self Contained Brathing Apparatus 自给式空气呼吸器
HVAC AHU Air Handling Unit 空调箱
MAU Make-up Air Unit 外气空调箱
VAV Variable Air Volume box 可变风量风箱
FD Fire Damper 防火风门
FSD combined Fire Smoke Damper 防火防烟风门
SD Smoke Damper 防烟风门
PHX Plated type Heat Exanger 板式热交换器