第3章CMOS集成电路的物理结构
§3.1集成电路工艺层互连线的电阻和电容 1互连线电阻
Rline= RS×
l w
RS=
1σt
RS:薄层电阻，方块电阻2011-9-10第3章 CMOS集成电路的物理结构 5
§3.1集成电路工艺层互连线电阻计算
Rline=RS×n2011-9-10
(n=l/ w方块数)6
第3章 CMOS集成电路的物理结构
第3章CMOS集成电路的物理结构(3)
2021-02-21 08:35
第3章CMOS集成电路的物理结构(3).doc
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