SEM基本结构及工作原理(15)

2021-01-20 19:43

SEM

后在胶带边缘涂上导电银浆以连接样品与载物盘,等银浆干了之后就可以进行最 后的蒸金处理。(注意:无论是导电还是不导电的粉末试样都必须进行蒸金处理, 因为试样即使导电,但是在粉末状态下颗粒间紧密接触的几率是很小的,除非采 用价格较昂贵的碳导电双面胶带。)

6.3 溶液试样的制备

对于溶液试样我们一般采用薄铜片作为载体。首先,在载物盘上粘上双面胶带,然后粘上干净的薄铜片,然后把溶液小心滴在铜片上,等干了(一般用台灯近距离照射10分钟)之后观察析出来的样品量是否足够,如果不够再滴一次,等再次干了之后就可以涂导电银浆和蒸金了。

6.4 蒸金

利用扫描电镜观察高分子材料(塑料、纤维和橡胶)、陶瓷、玻璃及木材、 羊毛等不导电或导电性很差的非金属材料时,一般都要事先用真空镀膜机或离子 溅射仪在试样表面上蒸涂(沉积)一层重金属导电膜(我们一般是在试样表面蒸 涂一层金膜),这样既可以消除试样荷电现象,又可以增加试样表面导电导热性, 减少电子束造成的试样(如高分子及生物试样)损伤、提高二次电子发射率。除用真空镀膜机制备导电膜外,利用离子溅射仪制备试样表面导电膜能收到更好的效果。溅射过程是在真空度为0.2~0.02Torr条件下,阳极(试样)与阴极(金靶)之间加500~1000V 直流电压,使残余气体产生电离后的阳离子及电子在极间电场作用下,将分别移向阴极和阳极。在阳离子轰击下,金靶表面迅速产生金粒子溅射,并在不断地遭受残余气体散射的过程中,金粒子从各个方向落到处于阳极位置的试样表面,形成一定厚度的导电膜。整个过程只需1~2min。离子溅射法设备简单,操作方便,喷涂导电膜具有较好的均匀性和连续性,是正在日益广泛采用的方法。此外,利用离子溅射仪对试样进行选择性减薄(蚀刻)或清除表面污染物等工作也很有效。

7 能谱分析

7.1 基本原理:

连续X射线:连续X射线是电子在样品中非弹性散射引起,X射线的能量从0-E0随机分布,通常形成X射线信号的背底。

特征X射线:内层电子受到激发形成空位,外层电子向内层电子跃迁,能量差以X射线辐射。由于原子外层电子排列的量子化,形成能带,K层,L层,M层,N层,所以得到具有特征能量的一组X射线峰。如下图所示:


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