SEM基本结构及工作原理(17)

SEM

能谱探头：

探头为锂漂移硅半导体探头Si（Li），其原理是半导体中产生的电子-空穴对数量与X射线的能量成正比：n=E/εε=3.8ev是Si的带宽，例如5KEev的X射线可以产生1300个电子-空穴对。