SEM基本结构及工作原理(4)

SEM

背散射电子的形貌衬度：背散射电子同样也存在样品倾转是的形貌衬度效应，如图所示,低角度变化不明显，高角度衬度较好。

图7背散射电子产量与样品倾斜角度关系

背散射电子的空间分布：背散射电子在空间的分布满足一下关系，当入射束沿样品表面法线方向入射时：

η(φ)= ηnCos(η

)

图8 背散射电子的空间分布示意图

当样品倾转时，则变成以下情况：空间分布变成椭圆形状，特别是大于80度是的倾转。

图9 样品倾转时背散射电子的空间分布