SEM基本结构及工作原理(3)

SEM

图4 二次电子的检测示意图

1.2 背散射电子back scattered electron

背散射电子是由样品反射出来的初次电子，是弹性散射返回来的电子，其主要特点是： 能量很高，有相当部分接近入射电子能量，总能量约占入射点子能量的30%，在试样中产生的范围大，像的分辨率低。背散射电子发射系数随原子序数增大而增大。作用体积随入射束能量增加而增大，但发射系数变化不大。

背散射电子的原子序数衬度：

图5背散射电子产量与原子序数关系

图6背散射电子产量与入射束能量关系