SEM
0.7：0.2：0.03，常见金属元素：Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、As、Se、
Br
定性分析原则与步骤，从高能出有段开始分析，从右到左进行，利用线系比例关系，该元素的各谱线全部找出，Z<25时只有K线系，K大于25时，有K系就有L系。先确定高的峰，利用线系连带关系确定小峰，确定痕亮元素，根据样品情况确定轻元素。
能谱的分辨率和重叠峰
EDS的能量分辨率在120ev以上，所以能量相差较小的峰无法分开，例如Cu的Lα和Lβ分不开。对于某些元素之间的峰有可能出现冲的的情况 分析实例
点分析：在稳定的入射点子轰击下，各个元素的谱线的强度与他们的浓度有关，因此点分析可以分析电子束区域元素及含量。
线分析：电子束沿选定线移动，记录有关元素沿此线的分布。特点，直观准确性低。