SEM基本结构及工作原理(16)

2021-01-20 19:43

SEM

每一谱线的激发率取决于原子序数,如

元素Z谱线

KαK

β

KL

特征X射线权重,同系X射线谱线的相对强度可以根据此关系分析判断谱线: K系:Kα=1,Kβ=0.1

L系:Lα=1,Lβ1=0.7 , Lβ2=0.2, Lγ=0.03


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