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的扫面的扫描动作和在显像管上的扫描动作保持严格同步，因为他们由同意扫描发生器控制的，图中所示电子束在样品表面进行扫描方式两种。进行形貌分析时都采用光栅扫描方式，。当电子束进入偏转线圈时，方向发生转折，随后又由下偏转线圈使它的方向发生第二次转折，发生二次偏转的电子束通过末级透镜的光心射到样品表面。在电子束偏转的同时还带由一个逐行扫描动作，电子束在上下片偏转线圈的作用下，在样品表面扫描出方形区域，相应的在样品上也画出一副比例图像。样品上各点收到的电子束轰击是发出的信号可由信号探测器接受，并通过显示系统在显像管荧光屏上按强度扫描出来。如果电子经上偏转线圈转折后未经下偏转线圈改变方向，而直接由末级透镜折射到入射点的位置，这种扫描方式称为角光栅扫描货摇摆扫描，入射束被上偏转线圈转折的角度越大，则电子束在入射点上摆动的角度也越大。
扫描电镜的放大倍率是通过改变电子束偏转角度来实现放大倍率的调节，因为观察用的荧光屏尺寸是一定的，所以电子束偏转角度小，在试样上扫描面积越小，其放大倍率M越大。
一般放大倍数为20-200000倍。
图12 电子束在样品表面上的扫描方式
2.2 机械系统
这个系统主要包括支撑部分和样品室。样品室中有样品台和信号探测器，样品台除了能夹持一定尺寸的样品，还能是样品做平移、倾斜、转动等、同时样品还可在样品台上加热、冷却和进行力学性能试验（拉伸和疲劳）
样品室
在扫描电镜中，一个理想的样品室，在设计上要求如下：（1）为了试样能进行立体扫描，样品室空间应足够大，以便放进试样后还能进行旋转360°，倾斜 0～90°和沿三度空间做平移动作，并且能动范围越大越好；（2）在试样台中试 样能进行拉伸、压缩、弯曲、加热或深冷等，以便研究一些动力学过程；（3）