SEM
（3） 灯丝尖端到栅极孔的距离h。一般来说α角越大，故可以获得较大的 电子束强度，但灯丝的寿命却越短；
（4） 阳极的加速电压V0。因为灯丝的亮度是同加速电压V0成正比的，故 高的加速电压可以获得较大的发射电流强度。
透镜系统
1．基本要求
透镜系统的作用有三：（1）把虚光源的尺寸从几十微米缩小到5nm（或更小），并且从几十微米到几个纳米间连续可变；（2）控制电子束的开角，可以在10-2～10-3rad 范围内可变；（3）所形成的聚焦电子束可以在试样的表面上作光栅状扫描，且扫描角度范围可变。
为了获得上述扫描电子束，其透镜系统通常是由电磁透镜，扫描线圈和消像 散器等组成。采用电磁透镜的优点是：这种透镜可以安置在镜筒外面，可避免污 染和减小真空系统的体积，而且透镜的球像差系数较小。
2．透镜系统的结构类型
目前扫描电镜的透镜系统有三种结构：（a）双透镜系统；（b）双级励磁的三级透镜系统；（c）三级励磁的三级透镜系统。其中以三级励磁透镜系统具有较多优点，其理由如下：（1）多一级透镜的效果是使电子束的收缩能力更强，对原始光源的尺寸要求不高，仍可以获得小于5nm的电子束斑；（2）电子光学系统具有较大的灵活性，便于形成各种扫描式的光路，特别是要形成单偏转摇摆扫描式的光路（这是一种获得选区电子通道花样的光路），只有用三个独立可调的透镜系统才有可能做到。
3．末级透镜的结构
在扫描电镜中，前级透镜的作用是聚光镜，把从电子枪所发射出的电子束聚成足够细的束斑，而末级透镜的作用是物镜，末级透镜的像差直接影响成像的分辨率，因此，在末级透镜的设计上，如何降低其球像差是主要任务。装在末级透镜中的像散校正装置是采用八极式电磁消像散器，其用途是消除由于透镜污染（其效果是导致像场的畸变）所产生的像散。在扫描电镜中，从下极件到试样上表面的距离（沿光轴方向量）习惯称为工作距离。经验表明，工作距离对扫描电子像的像差有很大影响，如表2-4所示
因此，双偏转线圈的安装位置十分重要。为了可以获得小的工作距离，最好把扫描线圈装在透镜中物空间的位置。末级透镜光阑的作用是控制电子束的开角，从而控制图像的景深（它与电子束开角的大小成反比）。如果观察图像时所采用的工作距离为D，光阑孔径为a，则电子束的开角2α由下式来确定：
2α＝a / D
扫描电镜的工作距离越大，2α越小，相应焦深越大。由于扫描电镜的焦深 大，故所得图像最富有立体感，特别宜于观察高低不平表面。
扫描线圈
其作用是使电子束偏转，并在样品表面做有规则的扫动，电子束在样品表面