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1.3俄歇电子Auger electron
原子内层电子被激发产生空穴后，高能级的院子跃迁到这一能级，如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量不是以X射线的形式释放而是用该能量将核外另一电子打出，脱离原子变为二次电子，这种二次电子叫做俄歇电子。因每一种原子都由自己特定的壳层能量，所以它们的俄歇电子能量也各有特征值，能量在50-1500eV范围内。 俄歇电子是由试样表面极有限的几个原子层中发出的，这说明俄歇电子信号适用与表层化学成分分析。
1.4 特征X射线
产生二次电子后留下的空穴引起高能级原子的跃迁，跃迁过程中释放的能量以X射线形势释放出来。
2扫描电子显微镜的结构
扫描电镜的基本结构可分为电子光学系统、机械系统、真空系统、样品所产生的信号收集、处理和显示系统。
图10 扫描电子显微镜结构图