SEM基本结构及工作原理(18)

SEM

7.2 能谱的定性分析：

一般设备上可以自动标出，但是仍需要仔细分辨，当Z<25时，只有Kα，Kβ,切两者峰强度比例为10：1，如下图所示。常见金属为C，N，O，F，Ne，Na，Mg，Al，Si，P，S等

Si的能谱图

当Z>25时，有K系和L系，Kα：Kβ=10：1，Lα：Lβ1： Lβ2： Lγ=1：